韶光芯材:四十年深耕铸就国产光刻材料领军地位

在国家大力推进半导体产业链自主可控的战略背景下,长沙韶光芯材科技有限公司(以下简称"韶光芯材")作为国内首家光掩模基板制造商,近日披露其完整产业布局。这家源自1980年国家重大科技项目的企业,已发展成为国家级专精特新"小巨人"企业,正在光刻材料领域实现多项关键技术突破。

国家战略下的产业担当

韶光芯材的发展历程折射出中国半导体材料的进化之路:

1980年:承担国家重大科技项目,研制出国内首块光掩模基板

2011年:完成股份制改造,开启市场化发展

2022年:引入战略投资加速高端石英基板研发

2025年:在上海设立子公司,完善光学模组化布局

公司目前拥有300余名员工,其中60余人为核心技术骨干,包括多位具有15年以上经验的境外专家。通过与中芯国际、合肥晶合等头部企业的深度合作,其产品已广泛应用于国内主要晶圆厂。

核心技术突破国产瓶颈

在光刻材料这一"卡脖子"领域,韶光芯材已构建多方面核心技术能力:

1,超精密加工:实现φ300mm基板100nm平面度加工,打破国外垄断

2,微纳薄膜:开发出10nm级Cr/CrO/CrN复合膜系,缺陷率低于国际标准

3,全产业链配套:覆盖从基板、保护膜到光学元件的完整产品矩阵

特别值得关注的是,公司2025年通过参股上海高光微半导体,成功切入光掩模保护膜领域,填补了国内产业链空白。

产能布局服务国家需求

为响应国家半导体产业扩张需求,公司正加速产能建设,目前已建成5条产线(半导体石英产品3条/显示领域产品2条),在建4条新产线。

韶光芯材的目标是让中国芯用上中国造的光刻材料。随着新产线投产,这家拥有50余项发明专利的企业,将持续为国家半导体产业链安全贡献力量。